苏州穆尔气体 ꄲ 氩气纯化设备

氩气纯化设备

处理气量：（1-200）Nm3/h
压力：≤1.0Mpa
氩气纯度：≥99.999％
露点：≤-70℃
含氧量：≤1.5ppm
含氢量：≤0.5ppm
含氮量：≤4ppm
ΣCH≤1ppm
广泛应用于：
熔硅单晶炉配套使用，激光器、溅射、半导体生产，气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。

뀹下一个：无

高纯氩气纯化设备、氩气纯化装置、氩气净化装置

原料气可以是液氩，瓶装氩气等，针对原料氩气的成分不同，可定制多种净化方案。提纯过程有催化脱氧、冷却冷凝、吸附脱水、深度净化炉等工艺，保证客户的不同需求。

技术特点
采用净化炉脱除杂质气体，效果可达产品气纯度99.999%。

采用优质分子筛，产品氧气含湿量≤-70℃露点。
采用高效烧结过滤器，除尘后分子粒度≤0.1μm。
纯化工作气体压力范围0.2-5.0MPa，并能适用于压力波动气体。
原料气采用先进工作流程，温度控制安全可靠。
撬装设备，安装方便，结构紧凑，维修简单。

MGYa 1-200 型高纯氩气纯化设备
规格型号		MGYa1	MGYa2	MGYa5	MGYa10	MGYa20	MGYa40	MGYa60	MGYa80	MGYa100	MGYa200
处理量Nm³/h		1	2	3-5	6-10	15-20	30-40	50-60	70-80	90-100	150-200
工作压力MPa		≤1.0	≤1.0	≤1.0	≤1.0	≤1.0	≤1.0	≤1.0	≤1.0	≤1.0	≤1.0
去除杂质	除氢	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü
	除碳	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü
	除氧	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü
	除氮	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü
	除水	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü	ü
产品气	含湿量-露点(℃)	≤-72	≤-72	≤-72	≤-72	≤-72	≤-72	≤-72	≤-72	≤-72	≤-72
	含氧量(ppm)	≤1.5	≤1.5	≤1.5	≤1.5	≤1.5	≤1.5	≤1.5	≤1.5	≤1.5	≤1.5
	含氮量(ppm)	≤4	≤4	≤4	≤4	≤4	≤4	≤4	≤4	≤4	≤4
	含碳量(ppm)	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1	≤1
	含氢量(ppm)	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.5	≤0.5
控制方式		手动or自动	手动or自动	手动or自动	手动or自动	手动or自动	手动or自动	手动or自动	手动or自动	手动or自动	手动or自动
外型尺寸长×宽×高(m)		0.6×0.6×1.6	0.6×0.6×1.6	1.2×1.0×1.8	1.5×1.0×1.8	1.8×1.0×1.8	2.2×1.2×2	2.4×1.2×2	2.4×1.6×2	2.4×2×2	3.0×2.2×2.5
装置重量(t)		0.2	0.3	0.4	0.5	0.6	0.7	0.8	1.0	1.2	2.0
可以根据客户要求定制

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