氩气纯化设备
压力：≤1.0Mpa
氩气纯度：≥99.999％
露点：≤-70℃
含氧量：≤1.5ppm
含氢量：≤0.5ppm
含氮量：≤4ppm
ΣCH≤1ppm
广泛应用于：
熔硅单晶炉配套使用，激光器、溅射、半导体生产，气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。
高纯氩气纯化设备、氩气纯化装置、氩气净化装置
原料气可以是液氩，瓶装氩气等，针对原料氩气的成分不同，可定制多种净化方案。提纯过程有催化脱氧、冷却冷凝、吸附脱水、深度净化炉等工艺，保证客户的不同需求。
技术特点
采用净化炉脱除杂质气体，效果可达产品气纯度99.999%。
采用优质分子筛，产品氧气含湿量≤-70℃露点。
采用高效烧结过滤器，除尘后分子粒度≤0.1μm。
纯化工作气体压力范围0.2-5.0MPa，并能适用于压力波动气体。
原料气采用先进工作流程，温度控制安全可靠。
撬装设备，安装方便，结构紧凑，维修简单。
|
MGYa 1-200 型高纯氩气纯化设备 |
|||||||||||
|
规格型号 |
MGYa1 |
MGYa2 |
MGYa5 |
MGYa10 |
MGYa20 |
MGYa40 |
MGYa60 |
MGYa80 |
MGYa100 |
MGYa200 |
|
|
处理量Nm3/h |
1 |
2 |
3-5 |
6-10 |
15-20 |
30-40 |
50-60 |
70-80 |
90-100 |
150-200 |
|
|
工作压力MPa |
≤1.0 |
≤1.0 |
≤1.0 |
≤1.0 |
≤1.0 |
≤1.0 |
≤1.0 |
≤1.0 |
≤1.0 |
≤1.0 |
|
|
去除杂质 |
除氢 |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
|
除碳 |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
|
|
除氧 |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
|
|
除氮 |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
|
|
除水 |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
|
|
产品气 |
含湿量-露点(℃) |
≤-72 |
≤-72 |
≤-72 |
≤-72 |
≤-72 |
≤-72 |
≤-72 |
≤-72 |
≤-72 |
≤-72 |
|
含氧量(ppm) |
≤1.5 |
≤1.5 |
≤1.5 |
≤1.5 |
≤1.5 |
≤1.5 |
≤1.5 |
≤1.5 |
≤1.5 |
≤1.5 |
|
|
含氮量(ppm) |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
≤4 |
|
|
含碳量(ppm) |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
|
|
含氢量(ppm) |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
≤0.5 |
|
|
控制方式 |
手动or自动 |
手动or自动 |
手动or自动 |
手动or自动 |
手动or自动 |
手动or自动 |
手动or自动 |
手动or自动 |
手动or自动 |
手动or自动 |
|
|
外型尺寸 |
0.6×0.6×1.6 |
0.6×0.6×1.6 |
1.2×1.0×1.8 |
1.5×1.0×1.8 |
1.8×1.0×1.8 |
2.2×1.2×2 |
2.4×1.2×2 |
2.4×1.6×2 |
2.4×2×2 |
3.0×2.2×2.5 |
|
|
装置重量(t) |
0.2 |
0.3 |
0.4 |
0.5 |
0.6 |
0.7 |
0.8 |
1.0 |
1.2 |
2.0 |
|
|
可以根据客户要求定制 |
|||||||||||
