简单的

性能

设计

可靠的

Simple design Reliable performance

苏州穆尔气体设备有限公司    气体纯化    氩气纯化设备
氩气纯化7-1

氩气纯化设备

处理气量:(1-200)Nm3/h
压力:≤1.0Mpa
氩气纯度:≥99.999% 
露点:≤-70℃
含氧量:≤1.5ppm
含氢量:≤0.5ppm
含氮量:≤4ppm
ΣCH≤1ppm
广泛应用于:
熔硅单晶炉配套使用,激光器、溅射、半导体生产,气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。
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高纯氩气纯化设备、氩气纯化装置、氩气净化装置

      原料气可以是液氩,瓶装氩气等,针对原料氩气的成分不同,可定制多种净化方案。提纯过程有催化脱氧、冷却冷凝吸附脱水、深度净化炉等工艺,保证客户的不同需求。

技术特点
采用净化炉脱除杂质气体,效果可达产品气纯度99.999%。

采用优质分子筛,产品氧气含湿量≤-70℃露点。
采用高效烧结过滤器,除尘后分子粒度≤0.1μm。
纯化工作气体压力范围0.2-5.0MPa,并能适用于压力波动气体。
原料气采用先进工作流程,温度控制安全可靠。
撬装设备,安装方便,结构紧凑,维修简单。

 

MGY1-200  型高纯氩气纯化设备

规格型号

MGYa1

MGYa2

MGYa5

MGYa10

MGYa20

MGYa40

MGYa60

MGYa80

MGYa100

MGYa200

处理量Nm3/h

1

2

3-5

6-10

15-20

30-40

50-60

70-80

90-100

150-200

工作压力MPa

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

≤1.0

去除杂质

除氢

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除碳

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除氧

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除氮

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除水

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ü

ü

ü

ü

ü

ü

ü

产品气

含湿量-露点(℃)

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

≤-72

含氧量(ppm)

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

≤1.5

含氮量(ppm)

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

≤4

含碳量(ppm)

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

含氢量(ppm)

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

≤0.5

控制方式

手动or自动

手动or自动

手动or自动

手动or自动

手动or自动

手动or自动

手动or自动

手动or自动

手动or自动

手动or自动

外型尺寸
长×宽×高(m)

0.6×0.6×1.6

0.6×0.6×1.6

1.2×1.0×1.8

1.5×1.0×1.8

1.8×1.0×1.8

2.2×1.2×2

2.4×1.2×2

2.4×1.6×2

2.4×2×2

3.0×2.2×2.5

装置重量(t)

0.2

0.3

0.4

0.5

0.6

0.7

0.8

1.0

1.2

2.0

可以根据客户要求定制