简单的

性能

设计

可靠的

Simple design Reliable performance

苏州穆尔气体设备有限公司    气体回收    氩气回收设备
氩气回收7-4

氩气回收设备

产品简介:
处理气量:(1-200)Nm3/h
压力:≤1.0Mpa
氩气纯度:≥99.999% 
露点:≤-70℃
含氧量:≤1.5ppm
含氢量:≤0.5ppm
含氮量:≤4ppm
ΣCH≤1ppm
广泛应用于:
熔硅单晶炉配套使用,激光器、溅射、半导体生产,气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。
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单晶炉氩气回收设备(氩气回收率≥90%)

氩气回收设备、氩气回收装置是根据单晶炉工作运行的工序,真空泵抽出的回收氩气由阀进入到氩气回收设备。回收气首先经过鼓风机进入到进气储罐,然后再进入到预处理设备,除去里面的油份和杂质。然后进入以下氩气纯化设备单元,根据各个工艺将里面的杂质一一去除,然后使得回收气气体纯度达到所需要求,进一步循环利用。

MHYa-Ⅰ型15-1200 氩气回收设备

规格型号

MHYa15-

MHYa30-

MHYa150-

MHYa300-

MHYa600-

MHYa1200-

处理量Nm3/h

15

30

150

300

600

1200

工作压力MPa

≤0.6

≤0.6

≤0.6

≤0.6

≤0.6

≤0.6

去除杂质

除氧

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除氮

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除氢

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除碳

ü

ü

ü

ü

ü

ü

除水

ü

ü

ü

ü

ü

ü

产品气

含湿量-露点(℃)

≤-70

≤-70

≤-70

≤-70

≤-70

≤-70

含氧

(ppm)

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

含氮

(ppm)

≤3

≤3

≤3

≤3

≤3

≤3

含氢

(ppm)

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

≤1

控制方式

PLC全自动

PLC全自动

PLC全自动

PLC全自动

PLC全自动

PLC全自动

占地面积

20m2

40m2

60m2

100m2

200m2

500m2

可以根据客户要求定制