氩气回收设备
产品简介：
处理气量：（1-200）Nm3/h
压力：≤1.0Mpa
氩气纯度：≥99.999％
露点：≤-70℃
含氧量：≤1.5ppm
含氢量：≤0.5ppm
含氮量：≤4ppm
ΣCH≤1ppm
广泛应用于：
熔硅单晶炉配套使用，激光器、溅射、半导体生产，气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。
处理气量：（1-200）Nm3/h
压力：≤1.0Mpa
氩气纯度：≥99.999％
露点：≤-70℃
含氧量：≤1.5ppm
含氢量：≤0.5ppm
含氮量：≤4ppm
ΣCH≤1ppm
广泛应用于：
熔硅单晶炉配套使用，激光器、溅射、半导体生产，气相色谱仪、特殊灯泡稀有金属加工等需要用高纯氩气的有关科研和生产部门。
单晶炉氩气回收设备（氩气回收率≥90％）
氩气回收设备、氩气回收装置是根据单晶炉工作运行的工序，真空泵抽出的回收氩气由阀进入到氩气回收设备。回收气首先经过鼓风机进入到进气储罐，然后再进入到预处理设备，除去里面的油份和杂质。然后进入以下氩气纯化设备单元，根据各个工艺将里面的杂质一一去除，然后使得回收气气体纯度达到所需要求，进一步循环利用。
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MHYa-Ⅰ型15-1200 氩气回收设备 |
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规格型号 |
MHYa15-Ⅰ |
MHYa30-Ⅰ |
MHYa150-Ⅰ |
MHYa300-Ⅰ |
MHYa600-Ⅰ |
MHYa1200-Ⅰ |
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处理量Nm3/h |
15 |
30 |
150 |
300 |
600 |
1200 |
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工作压力MPa |
≤0.6 |
≤0.6 |
≤0.6 |
≤0.6 |
≤0.6 |
≤0.6 |
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去除杂质 |
除氧 |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
ü |
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除氮 |
ü |
ü |
ü |
ü |
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除氢 |
ü |
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ü |
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除碳 |
ü |
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ü |
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除水 |
ü |
ü |
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ü |
ü |
ü |
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产品气 |
含湿量-露点(℃) |
≤-70 |
≤-70 |
≤-70 |
≤-70 |
≤-70 |
≤-70 |
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含氧 (ppm) |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
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含氮 (ppm) |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
≤3 |
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含氢 (ppm) |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
≤1 |
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控制方式 |
PLC全自动 |
PLC全自动 |
PLC全自动 |
PLC全自动 |
PLC全自动 |
PLC全自动 |
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占地面积 |
20m2 |
40m2 |
60m2 |
100m2 |
200m2 |
500m2 |
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可以根据客户要求定制 |
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