浅谈特种气体设备在气瓶间的布置

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随着半导体产业的蓬勃发展,特气设备越来越多的应用于IC芯片生产、镀层、实验室科研等项目中。很多用户在进行特气设备的规划时候,受限于气房空间、位置、需求等多方面要求而不能合理规划布局,遇到了很多问题,为日后的产品使用增加了风险和扩充难度。特种设备是指涉及生命安全、危险性较大的锅炉、压力容器(含气瓶,下同)、压力管道、电梯、起重机械、客运索道、大型游乐设施和场(厂)内专用机动车辆。其中,特气设备不仅涉及生命安全,其对环境、运行稳定性等要求都非常高。本文就绝大多数用户遇到的难题,结合规范做以较为标准化的布置建议。

特气设备:

特种设备是指涉及生命安全、危险性较大的锅炉、压力容器(含气瓶)、压力管道、电梯、起重机械、客运索道、大型游乐设施和场(厂)内专用机动车辆这八大类设备。为保障特种设备的安全运行,国家对各类特种设备,从生产、使用、检验检测三个环节都有严格规定,实行的是全过程的监督。据《2013-2017年中国特种设备检验检测行业市场前瞻与投资战略规划分析报告》统计,截至2011年底,全国特种设备综合性检验机构已达到545家,包括质检部门所属检验机构、行业检验机构及企业自检机构,另外还有型式试验机构、无损检测机构、气瓶检验机构等。

特气设备属于特种设备的一大类,根据用户的实际用气种类和需求可能包含有:

1 GC 特气气瓶柜

2 GR 大宗or普通气瓶架

3 Local Scrubber 本地式废气处理柜(电加热+水洗复合型 可定制单功能)

4 VMB、VMP等各类气体分配设备

GP项目典型气瓶间

气瓶间

结语:

特气系统,尤其是集中供气系统引入国内的时间并不长,相应的设备、施工方法、经验多是从欧美等发达国家延伸而来。我们可以参考美国ASTM给出的相应标准,目前国内标准也在逐步完善当中。随着半导体行业如火如荼的发展,越来越多的特气设备也引入我们自己的生产线中,在多设备引入时建议不相容GR应布置在不同房间里,当由于条件所限布置在同一房间时,GR之间的距离应大于6M。同时具有可燃性和毒性的气体设备应该放置在可燃性气体间。GR、GC、Scrubber等设备宜靠墙布置,具有相同性质的设备应该布置在一起。特种气体房间内的中间通道宽度不得小于2M。GC与墙体之间的距离宜大于0.1M,GC之间距离宜大于0.1M。各类设备布置应该预留维修和运转空间。长管拖车、ISO标准集装瓶组等大型设备宜放置在室外空旷平地。

-- 苏州穆尔气体

2020年2月4日 09:37
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