氩气纯化方法

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对于气体来说,纯度是衡量该气体是否优质的一个标准。氩气由于是惰性气体,可以作为制造单晶体以及多晶体的保护气体,为了提高硅晶体的质量,选择高纯度的氩气至关重要,既可以提高晶体使用寿命,还可以满足市场的需求。

      一般来说,氩气纯化过程是通过净化装置来实现,氩气纯化方法可分为直接脱氧法和吸气剂纯化法。

      直接脱氧法:使用活性金属与氩气中的氧气进行反应,消化掉氩气中的氧气,从而达到脱氧的目的,经过分子筛吸附掉的氩气中的水分子,使氩气的含水量小于1ppm。

      吸气剂纯化法:采用吸气净化剂或者干燥剂,吸气剂可以与氩气中微量杂质形成稳定化合物,从而达到对氩气精制的效果,使用吸气剂纯化法提纯后,纯度可高达6个9的高纯氩。

      以上两种就是对于氩气纯化方法的简单介绍,相比之下,吸气剂纯化法设备投资较大但提纯度高,此方法目前在工业上已被广泛使用。

----苏州穆尔气体设备有限公司

2021年1月22日 10:12
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